GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

标准编号：GB/T 15909-1995

标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)

英文名称：Gas for electronic industry--Silane

发布日期：1995-12-20

实施日期：1996-08-01

起草单位

化工部西南化工研究院

适用范围