ISO 13095:2014 表面化学分析过程-原子力显微镜检查用于纳米结构测量AFM探针原位表征柄概要文件的程序

标准编号：ISO 13095:2014

中文名称：表面化学分析过程-原子力显微镜检查用于纳米结构测量AFM探针原位表征柄概要文件的程序

英文名称：Surface Chemical Analysis — Atomic force microscopy — Procedure for in situ characterization of AFM probe shank profile used for nanostructure measurement