GB/T 15394-1994 多探针测试台通用技术条件

标准编号：GB/T 15394-1994

标准名称：多探针测试台通用技术条件

英文名称：General specification for probe tester

发布日期：1994-12-28

实施日期：1995-08-01

起草单位

平凉半导体专用设备研究所

本标准规定了多探针测试台（以下简称探针台）的术语、技术要求、试验方法、检验规则、包装贮存等要求。本标准适用于手动、半自动、全自动多探针测试台。其他类型的探针测试台亦可参照使用。