ISO 14644-14:2016 洁净室和相关受控环境第10部分：空气粒子浓度法评估是否适合使用的设备

标准编号：ISO 14644-14:2016

中文名称：洁净室和相关受控环境第10部分：空气粒子浓度法评估是否适合使用的设备

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration