GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢

标准编号：GB/T 14851-1993

标准名称：电子工业用气体 磷化氢

英文名称：Gas for electronic industry--Phosphine

发布日期：1993-12-30

实施日期：1994-10-01

起草单位

化工部光明化工研究所

适用范围