ISO 14706:2014 表面化学分析通过全反射射线荧光光谱（TXRF）测定硅晶片表面自然污染物

标准编号：ISO 14706:2014

中文名称：表面化学分析通过全反射射线荧光光谱（TXRF）测定硅晶片表面自然污染物

英文名称：Surface chemical analysis — Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy