ISO 11938:2012 微光束分析 电子探针微量分析 使用波长色散光谱进行基本映射分析的方法

标准编号:ISO 11938:2012

中文名称:微光束分析 电子探针微量分析 使用波长色散光谱进行基本映射分析的方法

英文名称:Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Methods for elemental-mapping analysis using wavelength-dispersive spectroscopy

发布日期:2012-03

标准范围

本国际标准提供了电子探针元素图谱分析程序,使用波长色散光谱法。电子束数字化移动时的映射选择在整个样本中(电子束映射)和仅带有台移动的映射(大面积映射)是评估。它描述了五种类型的数据处理:原始X射线强度数据法、k值法、,校准方法、相关方法和矩阵校正方法。

This International Standard provides procedures for electron microprobe elemental-mapping analysis usingwavelength-dispersive spectrometry. The choice between mapping with the electron beam moving digitallyacross the specimen (electron beam mapping) and mapping with stage movement only (large-area mapping) isassessed. It describes five types of data processing: the raw X?ray intensity data method, the k?value method,the calibration method, the correlation method and the matrix correction method.

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