GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
标准编号：GB/T 13388-1992
标准名称：硅片参考面结晶学取向Ｘ射线测量方法
英文名称：Method for measuring crystallographic orientation of flats on single crystal silicon slices and wafers by X-ray techniques
发布日期：1992-02-19
实施日期：1992-10-01
起草单位
北京有色金属研究总院
适用范围
