ISO 18118:2024 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

标准编号：ISO 18118:2024

中文名称：表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南

英文名称：Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Guide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis

发布日期：2024-02

标准范围

本文件为通过俄歇电子能谱和X射线光电子能谱定量分析均质材料的实验确定的相对灵敏度因子的测量和使用提供了指导。所描述的方法仅适用于多晶和无定形材料，因为没有解决单晶样品固有的影响。

This document gives guidance on the measurement and use of experimentally-determined relative sensitivity factors for the quantitative analysis of homogeneous materials by Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. The methods described only apply to polycrystalline and amorphous materials, as effects inherent to single-crystal samples are not addressed.

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