ISO 14644-15:2017 清洁室及相关受控环境第15部分：通过空气中的化学浓度评估设备和材料的适用性

标准编号：ISO 14644-15:2017

中文名称：清洁室及相关受控环境第15部分：通过空气中的化学浓度评估设备和材料的适用性

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration