GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法

标准编号：GB/T 11073-1989

标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法

英文名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

发布日期：1989-03-31

实施日期：1990-02-01

起草单位

峨嵋半导体材料研究所

适用范围