ISO 13083:2015 表面化学分析扫描探针显微镜电扫描探针显微镜（ESPMs）如2D掺杂成像和其他用途的扫描扩展电阻显微镜（SSRM）和扫描电容显微镜（SCM）空间分辨率的定义和校准标准

标准编号：ISO 13083:2015

中文名称：表面化学分析扫描探针显微镜电扫描探针显微镜（ESPMs）如2D掺杂成像和其他用途的扫描扩展电阻显微镜（SSRM）和扫描电容显微镜（SCM）空间分辨率的定义和校准标准

英文名称：Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-d