ISO 17973:2016 表面化学分析 中分辨率螺旋电子光谱仪 元素分析用能量标度的校准

标准编号：ISO 17973:2016

中文名称：表面化学分析 中分辨率螺旋电子光谱仪 元素分析用能量标度的校准

英文名称：Surface chemical analysis — Medium-resolution Auger electron spectrometers — Calibration of energy scales for elemental analysis

发布日期：2016-09

标准范围

ISO 17973:2016规定了一种校准不确定度为3 eV的俄歇电子光谱仪动能标度的方法，用于识别表面元素的一般分析用途。此外，它还规定了建立校准计划的方法。它适用于直接或差分模式下使用的仪器，其中分辨率小于或等于0.5%，差分模式的调制幅度（如果使用）为2 eV峰间。它适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洗方法，以及能够在4keV或更高光束能量下工作的电子枪的光谱仪。

ISO 17973:2016 specifies a method for calibrating the kinetic energy scales of Auger electron spectrometers with an uncertainty of 3 eV, for general analytical use in identifying elements at surfaces. In addition, it specifies a method for establishing a calibration schedule. It is applicable to instruments used in either direct or differential mode, where the resolution is less than or equal to 0,5 % and the modulation amplitude for the differential mode, if used, is 2 eV peak-to-peak. It is applicable to those spectrometers equipped with an inert gas ion gun or other method for sample cleaning and with an electron gun capable of operating at 4 keV or higher beam energy.

标准预览图