ISO 14644-10:2013 洁净室和相关受控环境第10部分：化学浓度法进行表面洁净度分类

标准编号：ISO 14644-10:2013

中文名称：洁净室和相关受控环境第10部分：化学浓度法进行表面洁净度分类

英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration