ISO 14701:2011 表面化学分析 X射线光电子能谱术二氧化硅厚度的测量

标准编号：ISO 14701:2011

中文名称：表面化学分析 X射线光电子能谱术二氧化硅厚度的测量

英文名称：Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Measurement of silicon oxide thickness