ISO 16700:2004 微束分析 电子扫描显微镜-用于校准影像放大倍率的指南

标准编号：ISO 16700:2004

中文名称：微束分析 电子扫描显微镜-用于校准影像放大倍率的指南

英文名称：Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification

发布日期：2004-03

标准范围

ISO 16700:2004规定了使用适当的参考材料校准扫描电子显微镜（SEM）产生的图像放大率的方法。该方法仅限于由校准标准物质中结构的可用尺寸范围确定的放大率。本国际标准不适用于专用临界尺寸测量SEM。

ISO 16700:2004 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. This International Standard does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.

标准预览图