ISO 18516:2006 表面化学分析俄歇电子能谱学和X射线光电子能谱学横向分辨率的测定

标准编号：ISO 18516:2006

中文名称：表面化学分析俄歇电子能谱学和X射线光电子能谱学横向分辨率的测定

英文名称：Surface chemical analysis — Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy — Determination of lateral resolution