ISO 23420:2021 微束分析 分析电子显微镜 电子能量损失谱分析用能量分辨率的测定方法

标准编号：ISO 23420:2021

中文名称：微束分析 分析电子显微镜 电子能量损失谱分析用能量分辨率的测定方法

英文名称：Microbeam analysis — Analytical electron microscopy — Method for the determination of energy resolution for electron energy loss spectrum analysis

发布日期：2021-04

标准范围

本文件规定了扫描透射电子显微镜或配备电子能量损失（EEL）光谱仪的透射电子显微镜中能量分辨率的测定程序。本文件适用于柱内型EEL光谱仪和柱后型EEL光谱仪。这些EEL信号检测系统适用于并行检测系统和串行检测系统。

This document specifies a determination procedure of energy resolution in the scanning transmission electron microscope or the transmission electron microscope equipped with the electron energy loss (EEL) spectrometer.This document is applicable to both in-column type EEL spectrometer and post-column type EEL spectrometer. These EEL signal detecting systems are applicable to a parallel detecting system and a serial detecting system.

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