ISO/TS 22933:2022 表面化学分析 二次离子质谱法 SIMS中质量分辨率的测量方法

标准编号：ISO/TS 22933:2022

中文名称：表面化学分析 二次离子质谱法 SIMS中质量分辨率的测量方法

英文名称：Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS

发布日期：2022-04

标准范围

本文件规定了一种测量二次离子质谱中质量分辨率的方法，以及如何通过考虑峰形状来比较不同仪器（例如TOF-SIMS、磁性二次离子质谱、四极二次离子质谱、傅立叶变换二次离子质谱等）之间的质量分辨率。

This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

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