ISO 18115-3:2022 表面化学分析 词汇.第3部分：光学界面分析中使用的术语

标准编号：ISO 18115-3:2022

中文名称：表面化学分析 词汇.第3部分：光学界面分析中使用的术语

英文名称：Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 3: Terms used in optical interface analysis

发布日期：2022-06

标准范围

本文件定义了光学界面分析领域中的表面化学分析术语，包括椭圆偏振法、拉曼光谱和非线性光学技术以及一般光学术语。

This document defines terms for surface chemical analysis in the area of optical interface analysis including ellipsometry, Raman spectroscopy and nonlinear optical techniques as well as general optical terms.

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