T/CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

标准编号：T/CASME 1953-2025

标准名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

英文名称：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment

发布日期：2025-03-21

实施日期：2025-04-21

起草人

刘韬;徐丹;刘雪莲

江苏多肯新材料有限公司;安徽多肯创新科技有限公司;扬州曼特勒尔材料科技有限公司

本文件规定了半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和随行文件、包装、运输和贮存。

本文件适用于工作温度范围为-45℃～320℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。